工业应用设备
半导体晶圆缺陷检测设备
01
多光谱智能透镜外观检测仪
多光谱智能透镜外观检测仪(AOSI-4000S)，主要用于各类光学元件、光学晶体、光学陶瓷的全自动表面质量检测。 本设备自动化程度高，批量上料，自动送检，智能检测，根据检测结果智能分拣，并生成统计日志。检测结果可根据需求进行保存，保证检测结果可溯源性。
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02
半自动智能透镜外观检测仪
半自动智能透镜外观检测仪(OSI-4000S)，主要用于光学透镜的外观质量检测，具有整盘上下料、自动检测、标准选择或自定义、自动判断OK/NG、结果输出等功能。 设备配备特殊设计的光学检测系统，针对透镜元件复杂多变的面型和镀膜工艺，高灵敏度的检出包括划痕、麻点在内的各类外观缺陷，相比人工具备可靠的稳定性和可重复性。
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03
平面元件缺陷检测设备
平面元件外观缺陷检测设备(AOSI-4000F)主要用于平面光学元件的全自动外观质量检测，具有自动化程度高，批量上下料，自动传送，智能检测，根据检测结果智能分选，并生成每个元件的检测报告。设备可生成检测日志，按不同时间周期进行元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件进行日志生产，观察生产良率变化，对生产工艺改进做出指导。
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