工业应用设备
半导体晶圆缺陷检测设备
01
多光谱智能透镜外观检测仪
多光谱智能透镜外观检测仪(AOSI-4000S),主要用于光学透镜的全自动外观质量检测,该设备自动化程度高、批量上料、自动传送、智能检测,根据检测结果智能分选,并生成每个元件的检测报告。 设备可生成检测日志,按照不同的时间周期,根据元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件生成检测日志观察生产良率变化,对生产工艺改进做出指导。
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02
半自动智能透镜外观检测仪
半自动智能透镜外观检测仪(OSI-4000S),主要用于光学透镜的外观质量检测,具有整盘上下料、自动检测、标准选择或自定义、自动判断OK/NG、结果输出等功能。设备配备特殊设计的光学检测系统,针对透镜元件复杂多变的面型和镀膜工艺,高灵敏度的检出包括划痕麻点在内的各类外观缺陷,相比人工具备可靠的稳定性和重复性。
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03
平面元件缺陷检测设备
平面元件缺陷检测设备(AOSI-4000F),主要用于平面光学元件的全自动外观质量检测,该设备自动化程度高、批量上料、自动传送、智能检测,根据检测结果智能分选,并生成每个元件的检测报告。 设备可生成检测日志,按照不同的时问周期,根据元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件生成检测日志观察生产良率变化,对生产工艺改进做出指导。
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