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多模态表面缺陷检测仪

05.07 2024

多模态表面缺陷检测仪(MMDI-2000)，结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式，对表面缺陷尺度、位置、形态进行统计分析，并可结合使用光热弱吸收、显微成像等不同模态检测用户关注的缺陷区域，获取关注区域的缺陷信息;也可以利用微分干涉相衬显微成像技术，实现凸起和凹坑的区分。
碳化硅缺陷检测仪

09.19 2022

碳化硅缺陷检测仪(NOVA-2000)，用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测，针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法，对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等各类缺陷进行检出和提取分类，对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。
多光谱智能透镜外观检测仪

05.07 2024

多光谱智能透镜外观检测仪(AOSI-4000S)，主要用于光学透镜的全自动外观质量检测，该设备自动化程度高、批量上料、自动传送、智能检测，根据检测结果智能分选，并生成每个元件的检测报告。设备可生成检测日志，按照不同的时间周期，根据元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件生成检测日志观察生产良率变化，对生产工艺改进做出指导。
图形晶圆缺陷检测设备

09.19 2022

图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000)，主要用于图形化品圆BUMP、RDL、PAD等的检测，也可用于无图案晶圆表面缺陷检测。
亚表面缺陷检测仪

05.07 2024

亚表面缺陷检测仪(SSDI—2000 )，集成包括光学显微成像、激光共聚焦成像在内的多种检测模式，用于光学元件表面、亚表面缺陷的检测与分析，可在深度方向对样品进行分层检测。
半自动智能透镜外观检测仪

09.19 2022

半自动智能透镜外观检测仪(OSI-4000S)，主要用于光学透镜的外观质量检测，具有整盘上下料、自动检测、标准选择或自定义、自动判断OK/NG、结果输出等功能。设备配备特殊设计的光学检测系统，针对透镜元件复杂多变的面型和镀膜工艺，高灵敏度的检出包括划痕麻点在内的各类外观缺陷，相比人工具备可靠的稳定性和重复性。
光学透反射率测量仪

05.07 2024

光学透反射率测量仪(HTR-1000)，主要用于光学元件的透射率、反射率测量，能够对反射率高达99.99%或透射率高达99.99%的光学元件的透/反特性进行高精度测量。主要针对小口径光学元件，能够快速、精确、高重复性的检测光学元件的透射/反射特性。
平面元件缺陷检测设备

09.19 2022

平面元件缺陷检测设备(AOSI-4000F)，主要用于平面光学元件的全自动外观质量检测，该设备自动化程度高、批量上料、自动传送、智能检测，根据检测结果智能分选，并生成每个元件的检测报告。设备可生成检测日志，按照不同的时问周期，根据元件检测数量、缺陷检测类型比例等条件生成检测日志观察生产良率变化，对生产工艺改进做出指导。
大口径元件吸收缺陷检测仪

05.07 2024

大口径元件吸收缺陷检测仪(PTM-2000-LA)，基于光热扫描显微成像技术，适用于各类大口径固体表面及亚表面缺陷的检测和分析，特别是各类大口径光学薄膜、光学元器件表面及亚表面吸收缺陷的检测和分析。本系统是一款非接触式、高分辨率、全自动化检测仪器，可根据用户具体需求进行紫外、可见或红外波段的精密检测和分析。
大口径元件散射缺陷检测仪

05.07 2024

大口径元件散射缺陷检测仪(LSDI-2000-LA、LSDI-3000-C)，适用于大口径光学材料、半导体材料和金属等材料抛光后的表面缺陷检测和分析。本设备是一款非接触式、全自动的检测仪器，能够快速检测待测表面的划痕、麻点、脏污等特性。
激光共聚焦显微镜

09.19 2022

激光共聚焦显微镜(LCM-2000)，具备光学显微成像与激光共聚焦成像双重检测模式，主要用于各类材料的表面形貌与表面缺陷的三维检测分析。
大口径元件缺陷多模态检测仪

05.07 2024

大口径元件缺陷多模态检测仪(MMDI-2000-LA)，结合全口径缺陷快速识别与子孔径高灵敏度、高分辨率显微成像的检测方式，可利用激光散射对大口径光学元件进行全口径快速扫描成像，对缺陷尺度、位置、形态进行统计分析，并结合使用光热弱吸收、明场显微成像、暗场显微成像、激光共聚焦显微成像等不同模态检测用户关注缺陷区域，获得关注区域的缺陷信息。

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