亚表面缺陷检测仪 | |
型号 | SSDI-2000 |
检测灵敏度 | ≤200nm |
横向分辨率 | ≤300nm |
纵向分辨率 | ≤1μm |
最大样品尺寸 | 100mm x 100mm,或根据客户需求定制 |
*注:可根据用户需求,提供同类特制系统。
01
支持自动对焦
02
具备多种检测模式
03
支持缺陷深度分析
04
支持表面与亚表面缺陷区分
05
各检测模式可以自由切换,从一种检测模式图像上选区进行其他检测模式的检测,观察缺陷在不同检测模式下的特性
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