光学元件缺陷检测设备
多光谱智能透镜外观检测仪
半自动智能透镜外观检测仪
平面元件缺陷检测设备
激光共聚焦显微镜
光学吸收测量仪(标准版)
光学吸收测量仪(简化版)
光学元件激光损伤检测及预处理设备
半导体晶圆缺陷检测设备
碳化硅缺陷检测仪
图形晶圆缺陷检测设备
定制化解决方案
多模态表面缺陷检测仪
亚表面缺陷检测仪
光学透反射率测量仪
大口径元件吸收缺陷检测仪
大口径元件散射缺陷检测仪
大口径元件缺陷多模态检测仪
大口径元件高透/反射率测量仪
其他定制设备
01
碳化硅缺陷检测仪(NOVA-2000)，用于SiC抛光衬底片和同质外延片的缺陷检测，针对SiC缺陷的多样性设计专用多通道光学检测系统和缺陷自动检测分类算法，对微管、层错、三角形缺陷、台阶聚集等各类缺陷进行检出和提取分类，对SiC质量控制和工艺提升有显著作用。
Read more
02
图形晶圆缺陷检测设备(AMMI-2000)，主要用于图形化品圆BUMP、RDL、PAD等的检测，也可用于无图案晶圆表面缺陷检测。
0551-65685712
